
網孔蝕刻加工是一種通過化學或物理方法在金屬、合金或其他材料表面精確加工出密集網狀小孔的工藝。以下是關于網孔蝕刻加工的詳細介紹:
一、網孔蝕刻加工流程
1.材料預處理
清潔基材表面,去除油污、氧化層。
干燥后涂覆光刻膠,確保均勻覆蓋。
2.圖案化處理
曝光:使用帶有網孔設計的掩膜覆蓋材料,通過紫外光曝光(光刻工藝)或激光直接成像將圖案轉移到光刻膠上。
顯影:溶解未固化的光刻膠,露出需要蝕刻的區域。
3.蝕刻加工
化學蝕刻:浸入蝕刻液,腐蝕暴露區域,形成網孔。
參數控制:調整溫度、濃度、時間以控制蝕刻深度和孔壁質量。
電解蝕刻:適用于高精度需求,通過電流加速蝕刻過程,提高均勻性。
4.后處理
去除殘留光刻膠。
清洗、拋光或鈍化處理(如不銹鋼需酸洗鈍化防銹)。
質檢(顯微鏡檢查孔徑、孔距、表面光潔度)。
二、網孔蝕刻應用領域
工業過濾:石油化工用高精度濾網、汽車燃油濾芯。
電子器件:射頻屏蔽網、散熱片。
醫療設備:手術器械篩板、植入物表面微孔結構。
裝飾工藝:建筑幕墻鏤空裝飾、工藝品紋理。
航空航天:輕量化結構件。
三、環保與安全
廢液處理:中和酸性/堿性蝕刻液。
替代工藝:水刀切割或激光加工。
四、網孔蝕刻加工常見問題與對策
孔邊緣毛刺:優化蝕刻液配方,添加緩蝕劑;或電解拋光后處理。
蝕刻不均勻:改進掩膜設計,增加導流槽,調整蝕刻槽攪拌方式。
材料變形:薄板材料需使用夾具固定,避免應力集中。
五、網孔蝕刻加工技術趨勢
高縱橫比蝕刻:通過脈沖蝕刻或超聲波輔助實現深孔加工。
智能化控制:傳感器實時監測蝕刻速率,AI動態調整工藝參數。
綠色蝕刻劑:開發可循環利用的生物降解蝕刻液。
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